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分类：新闻中心发布时间：2023-04-27 16461次浏览

1）高能电子束的镜筒由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成，能够产生高能电子束。2）成...

1）高能电子束的镜筒由电子枪、电磁透镜和扫描线圈组成，能够产生高能电子束。

2）成像系统能够接收和处理各种电子信号，包括扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器。

3）信息记录系统能够记录电子图像，包括摄像头、图像分析器和记录设备。

4）真空系统作为电子束与样品作用载体，包括样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置。

5）电源系统能够调控和平扫描电子显微镜外部环境，包括不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和独立地线。